氯硅烷分子式
分子式:C5H9Cl2NSi
沸点:79 °C1 mm Hg(lit.)
闪光点:92°C
密度:1.150 g/mL at 20 °C(lit.)
氯硅烷是一种化学品,能与含活泼氢的化合物进行激烈反应,如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等,放出氯化氢
氯硅烷的用途
.用于制造半导体,尤其是在外延法工艺中作为硅源。二氯二氢硅主要用于多晶硅外延生长以及化学气相沉积二氧化硅和氮化硅。它的硅含量比三氯氢硅和四氯化硅高,二氯二氢硅沉积硅更有效,且淀积温度比其他氯硅烷低。采用二氯二氢硅在降低温度下沉积厚层所需时间大大低于采用硅烷所需时间。由于二氯二氢硅的沉积速率与采用其他氯硅烷相比对温度敏感性小,因此可以采用调节氢气流中二氯二氢硅浓度的方法来控制沉积速率,而且不会出现鼓泡所带来的不准确性和机械问题。
2.用于甲硅烷基化剂,及合成硅的有机化合物。
三氯硅烷是什么状态
三氯氢硅,是一种无机物,分子式为Cl3HSi,分子量为135.45,无色透明液体。熔点很低,是液态的。
三氯硅烷在常温常压下为具有刺激性恶臭、易流动、易挥发、易潮解的无色透明液体,易溶于酷苯氯仿二硫化碳等有机溶剂,遇水易发生分解反应产生氯化氢气体,与氧化剂可以发生强烈反应,遇明火高热时发生燃烧或爆炸。
三氯硅烷是一种无机物,化学式为HCl3Si。为无色液体,极易挥发,溶于笨、醚等多数有机物,性质稳定。主要用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成,是有机硅烷偶联剂中最基本的单体,也是生产半导硅、单晶硅的原料。
三氯硅烷是无色液体,极易挥发。
三氯硅烷是一种含有硅,氢和氯元素的化合物,溶解性:溶于苯、醚等多数有机溶剂,熔 点:-134℃,沸 点:31.8℃(水=1)1.37;相对密度(空气=1)4.7,性质稳定。灭火方法:消防人员必须佩戴过滤式防毒面具(全面罩)或隔离式呼吸器、穿全身防火防毒服,在 上风处灭火。灭火剂: 干粉、干砂。切忌使用水、泡沫、 二氧化碳、酸碱灭火剂。
二氯二正辛基硅烷的合成路线有哪些
合成路线:1.通过二丁基二氯化硅和辛基三氯硅烷合成二氯二正辛基硅烷
2.通过四氯硅烷和正辛基镁溴盐合成二氯二正辛基硅烷,收率约32%;
三氯化氢硅怎么合成的
三氯氢硅合成系统包括:
1,硅粉加料装置,
2,三氯氢硅合成炉,
3,旋风干法除尘,
4,过滤装置,
5, STC 湿法除尘,
6,合成气分离回收( CDI )等工序。
硅粉加料装置完成向合成炉连续定量地供应硅粉;三氯氢硅合成炉是生产三氯氢硅的关键设备;旋风干法除尘、过滤装置与 STC 湿法除尘是回收硅粉和除去合成气的硅尘, CDI 是将合成气进行分离回收,它们都是不可或缺的设备。
将硅粉加热到300°C以上,通氯化氢气体与硅粉进行 反应,反应压力为常压(或者只有网带、冷凝器的系统阻力),往往生产的粗品纯度都不是很 高,大约在80%左右。申请号为200910172331. 2,名称为“一种三氯氢硅合成的方法”公开了一种三氯氢 硅合成的方法,将氯化氢汽化后,在低压状态进入到三氯氢硅合成炉中与硅粉料混合;在温 度为300 330°C,压力为0. 1 0. 35MPA进行不间断反应;
把伴随反应生成的含三氯氢硅 与四氯化硅的混合气体进行冷却除尘处理后,经冷冻下来的三氯氢硅液体输送到精馏塔中 进行精馏分离;分离后的三氯氢硅提纯达到含硼小于等于0. 05PPB、磷小于等于0. 1PPB的 三氯氢硅,四氯化硅纯度达到99. 99%以上再进入到淋洗塔中。本方法提高转化效率(达到 85%)、减少氯化氢处理及排放、减少企业成本。
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